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科学研究
一种提高物理气相传输法晶体生长炉温场均匀性的装置
专利名称: 一种提高物理气相传输法晶体生长炉温场均匀性的装置
专利号: zl 201520976897.1
发明人: 杨春振、刘光霞、陈成敏、王立秋、许敏
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